水質標準：

電子工業純水系統設計規范                        GB50685-2011

中國電子級水質技術指標                          GB/T11446.1-2013

電子級水測試方法通則                            GB/T 11446.3-2013

電子級水電阻率的測試方法                        GB/T11446.4-2013

電子級水中痕量金屬的原子吸收分光光度測試方法    GB/T114465-2013

電子級水中痕量陰離子的離子色譜測試方法          GB/T11446.72013

電子級水中總有機碳的測試方法                    GB/T 11446.8-2013

電子級水中微粒的儀器測試方法                    GB/T 11446.9 -2013

電子級水細菌總數的濾膜培養測試方法              GB/T 11446.10-2013

高純水和超純水應用行業：

◆半導體行業：用于晶元6~12寸切割、清洗、再生、封測用水、半導體設備清洗、電子級無塵布無塵服清洗。

◆太陽能光伏行業：單晶硅、多晶硅切片清洗、太陽能電池、石英坩堝、多晶硅方舟、光伏玻璃、高純硅粉

◆LCD、LED、OLED生產清洗用水，光學攝像頭清洗，光學材料清洗，導電玻璃清洗；

◆半導體集成電路板，線路板生產清洗用超純水；

◆鋰電池材料（磷酸鐵鋰、三元材料、鋰電池隔膜）、蓄電池、鋅錳電池生產用水

◆電子級超純化學試劑用純水，納米級電子陶瓷材料純水、尖端磁性材料用純水、有色金屬、貴金屬冶煉用水、航空新材料生產用水、電容器材料腐蝕化成工藝用水。

EDI電除鹽系統

EDI 設備連續電除鹽（EDI，Electro deionization），是利用混和離子交換樹脂吸附給水中的陰陽離子，同時這些被吸附的離子又在直流電壓的作用下，分別透過陰陽離子交換膜而被除去的過程。這一過程離子交換樹脂是電連續再生的，因此不需要使用酸和堿對之再生。這種新技術可以替代傳統的離子交換（DI）裝置，生產出電阻率≥15MΩ.CM 的超純水。

離子交換膜和離子交換樹脂的工作原理相近，可以選擇性地透過離子，其中陰離子交換膜只允許陰離子透過，不允許陽離子透過；而陽離子交換膜只允許陽離子透過，不允許陰離子透過。在一對陰陽離子交換膜之間充填混合離子交換樹脂就形成了一個 EDI 單元。陰陽離子交換膜之間由混合離子交換樹脂占據的空間被稱為淡水室。將一定數量的 EDI 單元羅列在一起，使陰 離子交換膜和陽離子交換膜交替排列，在離子交換膜之間添加特殊的離子交換樹脂，其形成的空間被稱為濃水室。在給定的直流電壓的推動下，在淡水室中，離子交換樹脂中的陰陽離子分別向正、負極遷移，并透過陰陽離子交換膜進入濃水室，同時給水中的離子被離子交換樹脂吸附而占據由于離子電遷移而留下的空位。事實上離子的遷移和吸附是同時并連續發生的。通過這樣的過程，給水中的離子穿過離子交換膜進入到濃水室被去除而成為除鹽水。帶負電荷的陰離子（例如 OH-、Cl-）被正極（+）吸引而通過陰離子交換膜，進入到鄰近的濃水室。此后這些離子在繼續向正極遷移中遇到鄰近的陽離子交換膜，而陽離子交換膜不允許陰離子通過，這些離子即被阻隔在濃水中。淡水流中的陽離子（例如 Na+ 、H+）以類似的方式被阻隔在濃水室。在濃水室，透過陰陽膜的離子維持電中性。EDI 組件電流量和離子遷移量成正比。電流量由兩部分組成，一部分源于被除去離子的遷移，另一部分源于水本身電離產生的H+和OH-離子的遷移。在 EDI 組件中存在較高的電壓梯度，在其作用下，水會電解產生大量的H+和 OH-。這些就地產生的 H+和 OH-對離子交換樹脂有連續再生的作用。EDI 組件中的離子交換樹脂可以分為兩部分，一部分稱作工作樹脂，另一部分稱作拋光樹脂，二者的界限稱為工作前沿。工作樹脂承擔著除去大部分離子的任務，而拋光樹脂則承擔著去除弱電解質等較難清除離子的任務。 

EDI的特點

1、無須用酸堿再生、無須酸堿儲備和酸堿稀釋運送設施、使用安全可靠,避免工人接觸酸堿

2、節省了再生用水及再生污水處理設施

3、降低了運行及維護成本

4、占地面積小、安裝簡單、產水率高(可達90-95%)

5、連續運行、產品水水質穩定、不會因再生而停機

超純水制取工藝推薦：

1、一級RO+EDI+拋混：產水電阻率≥18MΩ.CM（25℃），其余指標符合電子級超純水規范

源水→源水箱→增壓泵→砂濾器→炭濾器→軟化器/阻垢劑→保安過濾器→高壓泵→一級反滲透→一級水箱→增壓泵→精濾器→EDI電除鹽裝置→超純水箱（建議氮氣保護）→輸送泵→拋光混床→UV/TOC→精濾器→用水點→回水（建議管道循環、無死水）

注意：該工藝要求原水水質情況較好、否則可能會對EDI電除鹽系統造成不可修復損傷

2、二級RO+EDI+拋混：產水電阻率≥18MΩ.CM（25℃），其余指標符合電子級超純水規范

源水→源水箱→增壓泵→砂濾器→炭濾器→軟化器/阻垢劑→保安過濾器→高壓泵→一級反滲透→一級水箱→PH調節→高壓泵→二級反滲透→二級水箱→增壓泵→精濾器→EDI電除鹽裝置→超純水箱（建議氮氣保護）→輸送泵→拋光混床→UV/TOC→精濾器→用水點→回水（建議管道循環、無死水）

注意：如微粒子要求與TOC要求較高，建議后段設置脫除微粒子與TOC指標的專用超濾UF膜

3、盤濾+UF+二級RO+EDI+拋混：產水電阻率≥18MΩ.CM（25℃），其余指標符合電子級超純水規范

源水→源水箱→增壓泵→盤濾→袋濾→超濾UF→超濾水箱→中間泵→保安過濾器→高壓泵→一級反滲透→一級水箱→PH調節→高壓泵→二級反滲透→二級水箱→增壓泵→精濾器→EDI電除鹽裝置→超純水箱（建議氮氣保護）→輸送泵→拋光混床→UV/TOC→精濾器→用水點→回水（建議管道循環、無死水）

注意：如微粒子要求與TOC要求較高，建議后段設置脫除微粒子與TOC指標的專用超濾UF膜